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半導体微細パターニング

半導体微細パターニング 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 S&T出版 / 半導体微細パターニング~限界を超えるポスト光リソグラフィ

半導体微細パターニング

半導体微細パターニング 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 S&T出版 / 半導体微細パターニング~限界を超えるポスト光リソグラフィ

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商品の特長

S&T出版 / 半導体微細パターニング~限界を超えるポスト光リソグラフィ。最先端のドライエッチング技術-マルチ・パターニングとHARC-:湯之上。福田昭のセミコン業界最前線】EUVを使わずに微細化の極限を目指す。半導体製造における次世代リソグラフィ技術の理論と応用を網羅した専門技術書です。一倉定の社長学シリーズ9 新装版。集積回路を支えるマイクロ・ナノ加工-微細加工(フォトリソグラフィ)の。- 書籍名: 半導体微細パターニング 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術- 監修: 岡崎 信次- 出版社: NTS- 定価: 本体40,000円+税ご覧いただきありがとうございます。

商品の仕様・スペック

型番 KQZ9033129
メーカー 半導体微細パターニング
レビュー数 3578
SKU 7734144840
発売日 -
出荷 宅配

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